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中科科仪FJ-80型分子泵机组

中科科仪FJ-80型分子泵机组

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    北京 大兴区 北京市大兴区宏业东路1号院24号楼1层105-375
品牌:北京明宸中寰科技有限公司型号:FJ-80输送介质:其他
驱动方式:其他材质:其他介质温度类型:其他
最大出口压力类型:其他叶轮级数:其他吸入方式:其他
壳体型式:其他厂家:北京明宸中寰科技有限公司

中科科仪FJ-80型分子泵机组详细介绍

  主要配置

  型号

  组成

  

  FJ-80

  

  分子泵

  

  FF-63/80

  

  机械泵

  

  干式隔膜泵

  

  油封旋片泵

  

  DIVAC 0.8T

  

  GHD-031B

  

  过渡腔

  

  DN63转CF35/KF40/KF16(可定制)

  

  技术指标

  分子泵抽气速率

  

  N2

  

  

  He

  

  62 L/s

  

  

  55 L/s

  

  连续入口流量*

  

  100sccm

  

  

  80sccm

  

  连续入口压强*

  

  10 Pa

  

  

  10 Pa

  

  极限压强

  

  LF

  

  CF

  

  <3.5×10-6 Pa

  (2.6×10-8Torr)

  

  <5×10-7 Pa

  (3.7×10-9Torr)

  

  入口法兰

  

  LF63/CF63

  

  旁抽接口

  

  Φ10快拧接头

  

  出口接口

  

  Φ8快插接头

  

  放气接口

  

  Φ8快插接头

  

  额定转速

  

  72000 min-1 (±0.5‰)

  

  分子泵启动时间

  

  ≤1.8min

  

  分子泵启动延时t

  

  1~30min

  

  前级泵

  抽气速率

  极限压强

  

  干式隔膜泵

  

  油封旋片泵

  

  0.2L/s 300Pa

  

  0.5L/s 0.67Pa

  

  冷却方式

  

  风冷

  

  烘烤温度

  

  ≤100℃

  

  噪声

  

  <55 dB(A)

  

  工作环境磁场

  

  <3 mT

  

  工作环境温度

  

  5~40 ℃

  

  供电

  

  220VAC(±10%)

  

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