品牌:北京明宸中寰科技有限公司 | 型号:FJ-80 | 输送介质:其他 |
驱动方式:其他 | 材质:其他 | 介质温度类型:其他 |
最大出口压力类型:其他 | 叶轮级数:其他 | 吸入方式:其他 |
壳体型式:其他 | 厂家:北京明宸中寰科技有限公司 |
主要配置
型号 组成
| FJ-80
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分子泵
| FF-63/80
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机械泵
| 干式隔膜泵
| 油封旋片泵
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DIVAC 0.8T
| GHD-031B
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过渡腔
| DN63转CF35/KF40/KF16(可定制)
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技术指标
分子泵抽气速率
| N2
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| He
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62 L/s
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| 55 L/s
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连续入口流量*
| 100sccm
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| 80sccm
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连续入口压强*
| 10 Pa
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| 10 Pa
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极限压强
| LF
| CF
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<3.5×10-6 Pa (2.6×10-8Torr)
| <5×10-7 Pa (3.7×10-9Torr)
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入口法兰
| LF63/CF63
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旁抽接口
| Φ10快拧接头
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出口接口
| Φ8快插接头
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放气接口
| Φ8快插接头
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额定转速
| 72000 min-1 (±0.5‰)
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分子泵启动时间
| ≤1.8min
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分子泵启动延时t
| 1~30min
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前级泵 抽气速率 极限压强
| 干式隔膜泵
| 油封旋片泵
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0.2L/s 300Pa
| 0.5L/s 0.67Pa
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冷却方式
| 风冷
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烘烤温度
| ≤100℃
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噪声
| <55 dB(A)
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工作环境磁场
| <3 mT
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工作环境温度
| 5~40 ℃
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供电
| 220VAC(±10%)
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