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科晶GSL-1350-ISE 1350摄氏度温控型插入式蒸发源

科晶GSL-1350-ISE 1350摄氏度温控型插入式蒸发源

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品牌:北京明宸中寰科技有限公司型号:GSL-1350-ISE加工定制:否
产地:中国厂家:北京明宸中寰科技有限公司

科晶GSL-1350-ISE 1350摄氏度温控型插入式蒸发源详细介绍

  GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪,适用于蒸发各种金属和有机材料,其温度可达1350℃。采用磁流体密封,可***在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰,可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀,用于通入气体对腔体进行清洗和排气,***样品在蒸镀过程中不被氧化。

性能指标和基本配置
结构 & 特点

  ● 此蒸镀系统升温可以手动和自动两种模式。手动模式可以快速加大电流,达到快速加热蒸发,但温控性较差。自动控制控温较准确。

  ● 采用钨线圈加热,氧化铝坩埚装料,其温度可达1350℃

  ● 控温,可设置30段升降温程序,控温精度可达+/- 1 oC

  ● Φ6.35mm进气口,可向蒸镀腔体中通入气体

  

电源

  电压:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 单相, 500W

  

温控系统 & 加热源

  ● 工作温度: 1350oC (<1hr)., 连续工作温度:1200℃

  ● 500WDC蒸发电源,电流30A

  ● 钨丝加热,S型热偶测温,氧化铝坩埚装样

  ● 温控系统可设置30段升降温程序,控温精度:+/- 1 oC

  ● 建议升温速率<30 oC/min

  ● 若长期工作在800℃以上,必须用高温棉填满耐火保温层与坩埚之间的间隙。可减少钨丝加热元件的损耗。

  

样品坩埚

  ● 配有0.7ml的氧化铝坩埚

  ● S型热电偶嵌在坩埚底部,用于测量加热温度

  

进气口

  ● 6.35进气口,用于向蒸镀腔体中通入气体

  ● 一个针阀安装在进气口后端,用于控制其气体流量

  

可选

  可选购快接法兰,接口为KF50,可与Φ50mm炉管对接

  

认证

1CE认证

  

保修期 一年保修,终身技术支持。

  特别提示:

  1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

  2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

  点击查看售后服务承诺书。

  

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