北京明宸中寰科技有限公司
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科晶OTF-1200X-4-RTP-C3HV 真空快速CVD系统

科晶OTF-1200X-4-RTP-C3HV 真空快速CVD系统

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    北京 大兴区 北京市大兴区宏业东路1号院24号楼1层105-375
品牌:北京明宸中寰科技有限公司型号:OTF-1200X-4-RTP-C3HV包装:其他
电池化学:其他工作温度:其他安装类型:其他
封装:其他系列:实验设备产地:中国
厂家:北京明宸中寰科技有限公司

科晶OTF-1200X-4-RTP-C3HV 真空快速CVD系统详细介绍

功能特点

  双层Al2O3纤维钢构,无需水冷或风冷。

  内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。

  PID控制器,可以设置30段升降温程序,并设有过热保护和断偶功能。

  已通过CE认证。

技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要。
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源
工作台 尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上
通风装置 需要
电源 单相208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW
石英管 外径?110mm,内径?103mm,长380mm
加热元件 8根红外灯管,灯丝长200mm,丝圈?10mm,灯长300mm
加热区 300mm
工作温度 温度1100℃
控温精度 ±0.5℃
升温速度 RT-800℃时为50℃/s,800℃-1000℃时为10℃/s
温控仪 可控硅(SCR)PID自动控制
温控仪 可控硅(SCR)PID自动控制
真空法兰 不锈钢,带有水冷接口和针阀,双层高温O型圈密封,长时间在>900℃条件下运行必须采用水冷,循环水流量为0.5m3/hr
真空度 10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)
质量流量计 3个,MFC1范围0-100sccm,MFC2范围0-200sccm,MFC3范围0-500sccm,精度1±%FS
混气罐 ?80mm×120mm
炉体尺寸 760mm×330mm×530mm
炉体重量 45kg
真空混气系统尺寸 600mm×600mm×597mm
真空混气系统重量 75kg

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