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科晶HVS-03G真空系统

科晶HVS-03G真空系统

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品牌:北京明宸中寰科技有限公司型号:HVS-03G厂家:北京明宸中寰科技有限公司

科晶HVS-03G真空系统详细介绍

  产品型号

  

  HVS-03G高真空系统

  

  技术参数

  

  1、分子泵机组极限真空度(空载):≤9×10-5Pa

  2、真空系统漏率:≤5×10-9PaM3/s

  3、电源:220v±10/50Hz

  4、电源插头:16A

  5、冷却方式:水冷或风冷(环境温度5-40℃)

  6、平台承重:≤100kg

  7、真空规参数:ZDF-11A2

  测量范围:1.0×10 5 ~1×10 -5Pa

  配接规管:ZJ-52T一只,ZJ-27一只

  

  注意事项

  

  1、拆开包装箱,将设备从箱体中取出,检查设备有无损坏,将设备的电源线接好,检查地线与设备是否接好。

  2、在接入供电电源时,务必要确认是否和设备要求的电源电压相符。

  设备安装应在平地上,竖直方向上与垂直方向上与垂直方向夹角小于5°。安装后要固定脚轮。

  3、机械泵的排气口必须顺畅,不得在封堵排气口情况下启动泵。

  4、机械泵在运转前检查油位,不要在泵没有加油或缺油的情况下使用否则会造成泵的失效。

  5、观察机械泵油颜色,正常泵油是清洁和透明的;若泵油颜色变暗火浑浊时需要换油。切勿在泵温较高的情况下换油,必须等泵冷却到低于50℃的温度时方可换油。

  6、分子泵正常运转时,请尽量避免在泵体及控制器附近施加比较大的或是频繁的震动,避免冲击钻作业和任何会产生较大磁场的作业。

  7、启动分子泵前,系统压强≤100 Pa。

  

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