| 品牌：科晶 | 型号：VTC-600-3HD（2RF+1DC）（2RF+1RF） | 产品别名：三靶磁控溅射仪 |
| 用途：实验 | 适用行业：高校 | 产品用途：实验 |
| 规格：台 |
| 产品名称 | VTC-600-3HD双靶磁控溅射仪
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| 产品型号 | ||
| VTC-600-3HD |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | |
1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）
2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.***以上），需自备氩气气瓶（自带?6mm双卡套接头）及减压阀
4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通风装置：需要
| 主要参数 |
| 1、电源电压：220V 50Hz |
2、总功率：＜2.5KW
3、极限真空度： 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 5、靶枪数量：3个 6、靶枪冷却方式：水冷 7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 8、直流溅射功率：500W（可选） 9、射频溅射功率：300W/500W（可选） 10、载样台：?140mm，可根据客户需求选配加装偏压功能，以实现更高质量的镀膜。 11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 12、保护气体：Ar、N2等惰性气体 13、进气气路：质量流量计控制2路进气，1个流量为100 SCCM，1个流量为200 SCCM 主机尺寸：500mm×560mm×660mm， 整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm； 重量：160kg 产品规格 
