品牌:北京明宸中寰科技有限公司 | 型号:SKCC-YCB-X | 泵轴位置:其他 |
壳体型式:其他 | 结构类型:其他 | 产地:中国 |
厂家:北京明宸中寰科技有限公司 |
产品型号
| SKCC-YCB-X(高真空磁控溅射永磁靶头)
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产品规格
| 2寸,SKCC-YCB-2 3寸,SKCC-YCB-3 4寸,SKCC-YCB-4 5寸,SKCC-YCB-5 6寸,SKCC-YCB-6 7寸,SKCC-YCB-7
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主要特点
| 1、采用高质量的不锈钢和永磁材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、独特的磁性材料冷却装置结构设计,避免冷却水腐蚀磁性材料,延长其使用寿命。 4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头,便于操作。 6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。
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配套电源
| 1、直流DC;2、射频RF
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