| 品牌：科晶 | 型号：GSL-1100X-SPC-16-3 | 货号：GSL-1100X-SPC-16-3 |
| 产品用途：科研 | 重量：50 | 颜色：图色 |
| 出厂地：中国 | 外形尺寸：100 | 电源电压：100 |
| 内胆尺寸：30*100 | 控温：恒温 | 容积：20*20 |
| 速度：正常 | 质保：一年 | 是否跨境出口专供货源：否 |
GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。
功能特点
设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得镀膜效果。
钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可***长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
已通过CE认证。
技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水 不需要
电 AC220V 50Hz，必须有良好接地
气 设备腔室内需充注氩气（纯度99.***以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）
工作台 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通风装置 不需要
靶 45mm
真空室 160mm×120mm
真空度 ≤4×10-2mbar
靶位 3个
电流 50mA
可设定最长时间 900s
微型真空气阀 连接3mm软管
电压 1600V DC
机械泵 2L/s
可选配件 金、铟、银、铂等各种靶材
标准配件 1 金靶材 1个
2 银靶材 1个
3 铝靶材 1个
4 进气针阀 1个
5 保险丝 2个
