| 品牌：北京明宸中寰科技有限公司 | 型号：HVMSS-SPC-2 | 类型：其他 |
| 加工定制：否 | 厂家：北京明宸中寰科技有限公司 |
| 产品型号
| 2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2
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| 主要特点
| 1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命。 4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头，便于操作。 6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。
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| 技术参数
| 1、阳极护罩直径：?3.5" 2、所用靶材：直径2"（50.8mm），非磁性靶厚度1/4"，磁性靶厚度1/16" 3、磁铁：NdFeB稀土永磁体 4、靶材利用率：30% 5、所需功率：DC1000W，RF500W 6、溅射电流：3A 7、溅射电压：100V-1000V 8、溅射时腔体真空度：5mtorr-100mtorr 9、溅射均匀性曲线
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