品牌:北京明宸中寰科技有限公司 | 型号:HVMSS-SPC-1-LD | 类型:其他 |
加工定制:否 | 厂家:北京明宸中寰科技有限公司 |
产品型号
| 1英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-1-LD
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主要特点
| 1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、磁体表面涂有保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命。 4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头,便于操作。 6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。 7、配有铜靶1块。
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技术参数
| 1、溅射头直径:?46.3mm 2、所用靶材:直径1"±0.02"(25.4mm),厚度1/8"(3mm) 3、磁环:NdFeB稀土永磁体 4、柄杆直径:外径3/4" 5、电路接头:标准HN型接头,可与DC和RF电源相匹配 6、所需功率:DC250W,RF100W 7、阴极溅射电流:3A 8、阴极溅射电压:200V-1000V 9、工作压力范围:1mtorr-1torr 10、溅射厚度均匀性:采用磁控溅射在氧化非晶硅片上沉积一个20nm的薄膜,直流功率150W,真空环境 10mtorr,1"铜靶,与基片距离75mm
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