| 品牌：北京明宸中寰科技有限公司 | 型号：SKCC-GZB-X | 泵轴位置：其他 |
| 壳体型式：其他 | 结构类型：其他 | 产地：中国 |
| 厂家：北京明宸中寰科技有限公司 |
| 产品型号
| SKCC-GZB-X（高真空磁控溅射公、自旋转靶头）
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| 产品规格
| 1寸，SKCC-GZB-1 2寸，SKCC-GZB-2 3寸，SKCC-GZB-3 4寸，SKCC-GZB-4 注：其它尺寸可以订制
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| 主要特点
| 1、转靶带挡板（可实现每次露出一个工作的靶，避免交叉污染）； 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布； 3、转靶转速5~60转/分可调； 4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配； 5、安装采用标准真空法兰（CF金属密封或Dg胶圈密封可选）； 6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。
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| 配套电源
| 1、直流DC；2、射频RF
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