产品特性:溅射仪 | 品牌:科晶 | 型号:VTC-600-2HD |
产品别名:溅射仪 | 用途:实验室 | 适用行业:科研 |
产品用途:实验室 |
产品名称 | VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪
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产品型号 |
VTC-600-2HD |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 |
1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.***以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头)及减压阀
4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通风装置:需要
主要参数 |
1、电源电压:220V 50Hz |
2、功率:900W
3、极限真空度:9.0×10-4Pa
4、样品台加热温度:RT-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)
5、靶枪数量:2个(可选配其他数量)
6、靶枪冷却方式:水冷
7、靶材尺寸:?2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
8、直流溅射功率:500W;射频溅射功率:300W。(靶电源种类可选,可选择两个直流电源,也可选择两个射频电源,或选则一个直流一个射频电源)
9、载样台:?140mm,可根据客户需求选配加装偏压功能,以实现更高质量的镀膜。
10、载样台转速:1rpm-20rpm内可调
11、工作气体:Ar等惰性气体
12、进气气路:质量流量计控制2路进气,一路为100SCCM,另一路为200SCCM。
产品规格 |
1、主机尺寸:500mm×560mm×660mm
2、整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm
3、真空室规格:φ300×300mm
4、重量:160kg
标准配件 | 1直流电源控制系统1套 |
2射频电源控制系统1套
3膜厚监测仪系统1套
4分子泵(德国进口)1台
5冷水机1台
6冷却水管(?6mm)4根
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 |